靈巧型勻膠機

簡要描述：

EZ6靈巧型勻膠機勻膠機被設計為涂膠處理小碎片至6英寸圓晶尺寸底物，使用工業級直流馬達和單片機控制，5寸全彩觸屏人機界面操作，簡單易用。EZ6勻膠機在材料、化學或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相關領域。

更新時間：2023-03-06

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產品介紹：

EZ6靈巧型勻膠機

EasyCoater 6靈巧型勻膠機設計為涂膠處理小碎片至6英寸圓晶尺寸底物，使用工業級直流馬達和單片機控制，5寸全彩觸屏人機界面操作，簡單易用。EZ6勻膠機在材料、化學或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相關領域。
EZ6設計標準為結構緊湊、簡單易用，程控操作，且能夠升級自動點膠功能，尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內進出，具有優異的性價比。亦可提供分體式設計，進行嵌入式安裝，與手套箱進行配合。

靈巧型勻膠機性能參數：

支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圓晶）
速度可調范圍：200-10000rpm

加速度可調范圍：100-10000rpm/s

轉速分辨率：1rpm
轉速精度：＜±5rpm

可編程10組10步程序
寬電壓輸入：AC100-230V

靈巧型勻膠機特性優點：

100W 直流無刷電機，PLC 控制

5”全彩觸摸屏
系統中英文可選

帶一只自動點膠端口，可升級自動點膠功能

HDPE 內腔，SUS 外殼，耐溶劑PC 透明蓋
真空互鎖及蓋子開關互鎖安全功能

產品外型尺寸：

358mm(D)*256mm(W)*258mm(H)

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靈巧型勻膠機

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